螺旋波激发氢等离子体光谱诊断

• 作者: 吴卫东 唐永建 孙卫国 王加扣 程新路 邓红艳
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体诊断 螺旋波等离子体化学气相沉积 Balmer系 Fulcher带
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1513-1517
• 页数: 5页
• 分类号: TL65
• 字数: 2824字
• 语种: 中文

摘要

利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体.通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balmer系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fulcher带的分析,得到实验参数对氢振动温度的影响.结果表明:低压氢等离子体状态可借用日冕模型来诊断;激发态氢原子密度随入射功率增加而增加,随压强增加而减少,氢分子振动温度随压强增加先增大后减小;电子温度和电子密度是低压氢等离子体状态变化的关键因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙卫国	四川大学原子与分子物理研究所	92	400	11.0	16.0
2	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
3	程新路	四川大学原子与分子物理研究所	174	597	12.0	14.0
4	邓红艳	四川大学原子与分子物理研究所	2	30	2.0	2.0
8	王加扣	四川大学原子与分子物理研究所	3	37	3.0	3.0