螺旋波激发甲烷等离子体光谱诊断

• 作者: 罗利霞 计晶晶 马淑一
• 来源期刊: 原子与分子物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体诊断 螺旋波等离子体化学气相沉积 甲烷
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 原子、分子结构与光谱
• 页码范围: 531-536
• 页数: 6页
• 分类号: O561.3
• 字数: 1739字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0364.2013.04.003

摘要

利用螺旋波激发等离子体化学气相沉积(LPP-CVD)技术,以甲烷和氦气为反应气体产生等离子体.通过采集到甲烷的可见光到紫外发射光谱,对甲烷等离子体进行原位诊断,发现存在CH、Ha及Hβ等碎片粒子的光辐射,同时,分析了不同入射功率、气压下CH粒子以及Hβ、Hγ的相对强度变化情况.结果表明:CH粒子的相对强度随着射频功率是先增大而后减小,随工作气压的增大而逐渐减小；随气压及功率的增加,Hβ、Hγ相对强度变化的总体趋势都是先增加而后减小的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗利霞		29	63	5.0	7.0
2	马淑一		37	97	6.0	8.0
3	计晶晶		27	51	4.0	5.0