电热微夹钳的热效应分析和数值模拟

• 作者: 关乐 王立鼎 褚金奎 郝秀春
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电热微夹钳 有限元 数值模拟 多晶硅
• 年，卷（期）: 2005,（14）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 1269-1272
• 页数: 4页
• 分类号: TH3
• 字数: 3106字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.14.014

摘要

介绍了一种新型多晶硅电热微夹钳,该夹钳在V形电热微驱动器的作用下,能够产生近似线性的位移和产生较大的夹持力.在全面考虑了空气对流、辐射、热传导及材料特性等各种因素的情况下,建立了该电热微夹钳的有限元模型,利用该模型分别进行了稳态和瞬态的仿真分析,模拟出输出位移和温度场随电压的变化情况,以及电热微夹钳的热响应时间.对仿真的结果进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立鼎	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	130	1877	24.0	38.0
2	褚金奎	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	119	1260	20.0	30.0
3	关乐	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	11	54	5.0	7.0
4	郝秀春	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	7	72	5.0	7.0