基于拉曼光谱的微结构应力测试方法

• 作者: 张文栋 桑胜波 熊继军 薛晨阳
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 拉曼光谱 单晶硅 多晶硅 应力 拉曼频移
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 461-463
• 页数: 3页
• 分类号: TB93
• 字数: 2170字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.166

摘要

讨论了利用拉曼光谱来定量分析由单晶硅和多晶硅材料构成的微机械结构应力测试方法,说明了该方法的基本原理,推导了单晶硅应力σ与相对拉曼频移△ω及多晶硅应力τ与相对拉曼频移△ω的关系,使基于硅体系的拉曼应力测试公式体系化.应用拉曼光谱测试方法对微加速度计悬臂梁和微谐振器支撑梁进行了应力测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	167	1172	16.0	26.0
2	薛晨阳	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	136	765	14.0	21.0
3	熊继军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	111	702	13.0	19.0
4	桑胜波	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	3	19	3.0	3.0