直线电机精密工作台扰动观测器设计

• 作者: 叶佩青 杨开明 游华云 褚毅成
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 直线电机 精密工作台 扰动观测器 运动控制
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 页码范围: 1430-1432
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 字数: 1757字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2005.12.012

摘要

针对直线电机驱动、气浮导轨支撑的精密工作台没有机械阻尼、抗扰动性能差的特点,为了在较短的位置伺服周期内(110μs)抑制工作台上的线缆扰动以及直线电机推力波动的影响,提高工作台的轨迹跟踪精度,采用了基于精密工作台名义模型的方法设计扰动观测器,构成PD+扰动观测器的运动控制结构.通过实验,与没有扰动观测器的PD控制相比较,工作台静态定位精度提高了0.3μm,以120 mm/s匀速运动时工作台的轨迹跟踪精度提高了2μm.结果表明,该控制方法计算量小,抑制外部扰动效果好,有利于工作台综合性能的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨开明	清华大学精密仪器制造工程研究所	44	664	15.0	25.0
2	叶佩青	清华大学精密仪器制造工程研究所	121	1914	24.0	40.0
3	游华云	清华大学精密仪器制造工程研究所	10	321	8.0	10.0
4	褚毅成	清华大学精密仪器制造工程研究所	4	28	3.0	4.0