弱吸收多层薄膜消光系数的反演

• 作者: 刘旭 郑臻荣 陈海星 顾培夫
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学测试 离子束溅射 光学薄膜干涉滤光片 消光系数
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 3722-3725
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 3427字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.08.045

摘要

从窄带干涉滤光片的峰值透射率测量可以直接反演出弱吸收薄膜的消光系数,从而得到一种能简易而又精确地评价多层薄膜微弱吸收的新方法.推导了弱吸收窄带干涉滤光片的吸收表达式,阐述了确定弱吸收薄膜消光系数的基本原理.以离子束溅射的Ta2O5/SiO2波分复用滤光片为例,分析了这种评价方法的基本精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾培夫	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	141	1761	23.0	34.0
2	刘旭	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	214	1718	22.0	32.0
3	郑臻荣	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	42	392	10.0	18.0
4	陈海星	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	23	264	11.0	15.0