弱吸收基底上弱吸收薄膜的光学常数计算方法

• 作者: 尚淑珍 赵祖欣 路贵民
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 紫外薄膜 光度法 光学常数 MgF2薄膜 LaF3薄膜
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1026-1030
• 分类号: O484.4
• 字数: 3277字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20102205.1026

摘要

采用一种相对简单而又精确的光度法来计算弱吸收基底上弱吸收薄膜的光学常数,为低损耗紫外薄膜的设计与实现提供了理论基础.采用JGS1型熔融石英基底,制备了MgF2与LaF3材料的单层膜,获得了JGS1型熔融石英基底及MgF2与LaF3薄膜的光学常数色散曲线.结果显示:在200 nm左右处,JGS1型熔融石英基底的吸收已经比较明显,消光系数在10-8量级,因此,应考虑基底的弱吸收,以提高薄膜光学常数的计算精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	路贵民	华东理工大学资源与环境工程学院	49	259	9.0	14.0
2	赵祖欣		6	37	4.0	6.0
3	尚淑珍		6	37	4.0	6.0