吸收透明导电薄膜生长与复光学常数测定

• 作者: 舒启清 马晓翠
• 来源期刊: 深圳大学学报(理工版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 吸收透明导电薄膜 反射系数 透射系数 复光学常数
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 2943字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2618.2002.02.001

摘要

用带特殊热(冷)阱的可控制基片温度的电阻加热式真空蒸镀薄膜装置,把吸收透明导电薄膜Au和In2O3分别通过热蒸镀和活化反应淀积在玻璃基片上. In2O3的电阻为80 Ω/□,光学透射率不小于80%. 透明导电薄膜的复光学常数可通过测量其反射和透射系数得到,但考虑到基片背表面的存在,必须对反射和透射系数进行修正. 引入修正后所得到的复光学常数与椭偏测量的结果一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马晓翠	深圳大学理学院	20	99	4.0	9.0
2	舒启清	深圳大学理学院	8	13	2.0	3.0