COIL用薄膜90°位相延迟高反射镜的研制

• 作者: 公发全 刘万发 孙连春 孙龙 李刚
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 氧碘化学激光器 位相延迟 倍频膜系
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 161-163
• 页数: 3页
• 分类号: TN248.5
• 字数: 1892字
• 语种: 中文

摘要

随着氧碘化学激光器(COIL)输出功率的不断提高,传统的膜系设计已不能满足要求.在倍频膜系的设计基础上,优化设计出了激光45°入射时对1 315 nm和632.8 nm双波长高反(HR)并在1 315 nm处具有90°位相延迟的高反射镜,其基底材料为融石英,高折射率材料为ZrO2,低折射率材料为SiO2.然后,采用电子束蒸发手段制备了口径为200mm的高反射位相延迟镜.最后对该延迟镜的性能进行了测试,结果表明:对632.8 nm波长的反射率大于等于95.0%,对1 315 nm波长的反射率大于等于99.8%,位相延迟在90.235°～95.586°范围内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙连春	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	19	380	10.0	19.0
2	李刚	中国科学院大连化学物理研究所	206	2926	26.0	46.0
3	孙龙	中国科学院大连化学物理研究所	9	188	5.0	9.0
4	刘万发	中国科学院大连化学物理研究所	21	74	5.0	7.0
5	公发全	中国科学院大连化学物理研究所	9	15	2.0	3.0