用3D动态元胞自动机模型模拟硅的各向异性腐蚀过程

• 作者: 周再发 孙岳明 李伟华 王涓 黄庆安
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 元胞自动机(CA) 腐蚀模拟 微机电系统 微加工技术 各向异性腐蚀
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 289-292
• 页数: 4页
• 分类号: TN40
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.101

摘要

建立了硅各向异性腐蚀的3D动态元胞自动机模型,模拟过程中表层元胞边界条件的确定只与表层元胞有关,简化了表层元胞边界条件的确定过程.此外,腐蚀模拟过程中只需要计算与腐蚀液接触的表面元胞的腐蚀过程,提高了模拟计算的速度.采用不同的掩模图形,模拟了硅的各向异性腐蚀过程,通过对模拟结果的理论分析及将模拟的三维输出结果与已有实验结果进行对比,验证了模型的模拟效果.