溶胶-凝胶提拉法制备ITO透明导电膜

• 作者: 李晶 陈世柱
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: sol-gel法 提拉 ITO膜 透明 导电
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 94-99
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.45
• 字数: 4180字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0609.2005.01.016

摘要

采用溶胶-凝胶(sol-gel)法,利用自制的提拉实验设备于石英玻璃片上制得了ITO(indium tin oxide)透明导电薄膜,并就薄膜的物相结构、微观组织、导电性能及透光性等进行了研究分析.结果表明:薄膜的方电阻和透光性与提拉速度、提拉次数、热处理温度、冷却方式及Sn原子掺杂量等因素有关.当Sn原子掺杂量为12.5%(质量分数)、提拉速度为80 mm/min、经5次提拉且每次提拉后经550℃热处理(炉外空冷)而最终制得的ITO薄膜的方电阻为110 Ω/□,透光率可达90%以上.用溶胶-凝胶法制备ITO薄膜具有工艺简单可控,成本较低且宜于大面积成膜等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晶	中南大学材料科学与工程学院	135	1341	19.0	27.0
2	陈世柱	中南大学材料科学与工程学院	7	67	5.0	7.0