硅微机械扭转微镜的研究进展

• 作者: 傅星 吴文刚 栗大超 胡小唐 郝一龙 闫桂珍
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 扭转微镜 压电驱动 电磁驱动 电热驱动 静电驱动
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术的现状与展望
• 页码范围: 27-32
• 页数: 6页
• 分类号: TH74
• 字数: 2096字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.008

摘要

硅微机械扭转微镜在国防和民用领域都有着重要的应用.根据致动机理的不同,从压电驱动方式、电磁驱动方式、电热驱动方式和静电驱动方式等方面系统地阐述了硅微机械扭转微镜的研究现状与发展方向,同时重点讨论了硅微机械扭转微镜在医疗成像和生物技术等领域中的具体应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0