加权多步波长移相算法研究

• 作者: 于瀛洁 孙流星 张本好
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 波长移相干涉 加权多步波长移相算法 轮廓测量 厚度变化测量
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 短文
• 页码范围: 746-750
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3025字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2005.07.021

摘要

波长移相干涉技术通过改变光源的波长实现移相,可以克服硬件移相引入的误差,同时原理上可以实现多组干涉信号的分离.主要应用于大尺寸干涉仪及需要分离多表面干涉信号的系统中.加权多步波长移相算法是其主要的算法,中心思想是通过时域加入合适的窗函数,抑制寄生信号,提出包含轮廓或厚度信息的有用信号.文中介绍其设计思想,进行算法设计,并对一光学件进行了测试和比对.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于瀛洁	上海大学精密机械工程系	80	791	16.0	24.0
2	孙流星	上海大学精密机械工程系	6	33	4.0	5.0
3	张本好	上海大学精密机械工程系	3	39	3.0	3.0