光激光拾谐振法确定硅微机械薄膜的杨氏弹性模量

• 作者: 刘月明 张少君
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 硅微机械薄膜 杨氏弹性模量 光激励谐振 光纤拾取
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 877-880
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2914字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种采用光热激励和光拾取的全光谐振技术方法,确定硅微机械薄膜的杨氏弹性模量.该方法基于光热激励的致动机理,使用调制光对硅微机械薄膜结构进行光热激励使之谐振,利用光纤传感技术拾取其谐振频率信号,进而利用谐振理论模型确定其杨氏弹性模量.为准确确定杨氏弹性模量,利用了硅微薄膜结构的前三阶谐振频率进行多次测量,求均值的方法.为简化光激励测试系统,设计了新颖结构的单光源激励测试系统,同时实现了对微机械薄膜结构的激振和信号拾取.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘月明	西安理工大学理学院物理系	14	60	5.0	7.0
3	张少君	西安理工大学理学院物理系	16	86	5.0	9.0