SDB技术在MEMS加速度计中的应用

• 作者: 吕树海 吕苗 杨拥军 罗蓉
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 硅硅直接键合(SDB) 电感耦合等离子(ICP) MEMS 键合
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 434-436
• 页数: 3页
• 分类号: TN405
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.156

摘要

介绍了硅硅直接键合(SDB)技术的反应机理、实现方法和技术优势,重点阐述了SDB技术在MEMS加速度计中的应用;通过初步测试,表明利用SDB技术制作的加速度计具有很好的稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕苗	中国电子科技集团公司第十三研究所	10	34	4.0	5.0
2	杨拥军	中国电子科技集团公司第十三研究所	44	220	7.0	13.0
3	罗蓉	中国电子科技集团公司第十三研究所	8	16	3.0	3.0
4	吕树海	中国电子科技集团公司第十三研究所	3	16	2.0	3.0