微结构的大转角非线性动态行为的宏建模方法

• 作者: 何洋 姜澄宇 苑伟政 霍鹏飞
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 欧拉参数法 大转角 非线性 宏建模
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 318-321
• 页数: 4页
• 分类号: TP202
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.111

摘要

针对微结构的大转角非线性动态行为,提出采用欧拉参数法对用传统欧拉角度法描述的微结构动力学方程进行线性化,以避免MEMS器件的系统级仿真不收敛和提高仿真速度.以大转角扭转微镜为例验证了方法的有效性.用硬件描述语言Mast编程建立了组件模型,使用组件模型构建了系统级模型并进行了仿真分析.分析表明,两种方法的仿真精度与有限元方法比较相差都在2%以内;与欧拉角度法比较,使用欧拉参数法仿真速度快3倍以上;说明使用欧拉参数法能够在不显著损失精度的前提下更加有效地描述微结构的大转角非线性动态行为.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苑伟政		70	351	10.0	14.0
2	姜澄宇		65	883	18.0	28.0
3	霍鹏飞		28	190	7.0	13.0
4	何洋		26	371	12.0	19.0