新型冲击驱动器及其在扫描隧道显微镜中的应用

• 作者: 施洋 章海军 马尚行
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 新型冲击驱动器 摩擦力和惯性 扫描隧道显微镜 定位控制
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 205-208
• 页数: 4页
• 分类号: TH703.8
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.03.006

摘要

提出了一种基于压电陶瓷的新型冲击式微位移驱动器,该驱动器利用摩擦力和惯性原理使目标产生步进式的微位移.其特点是最小位移可达几纳米,并在几纳米至几微米之间连续可调,运动范围几乎不受限制,具有实用的运动速度,系统结构简单,操作与控制方便,因而可能在微纳米技术中得到广泛应用.阐述了该驱动器的工作原理和机构设计,给出了它在扫描隧道显微镜中用于探针-样品间的自动定位控制的应用实例,得到了理想的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章海军		53	454	12.0	18.0
2	马尚行		2	11	1.0	2.0
3	施洋		7	86	6.0	7.0