用完全非共振光驻波聚焦原子制作纳米结构分析

• 作者: 姚汉民 陈旭南 陈献忠
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 完全非共振激光驻波场 原子聚焦 纳米结构制作
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 原子和分子物理学
• 页码范围: 2645-2652
• 页数: 8页
• 分类号: O4
• 字数: 3692字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.06.035

摘要

用完全非共振激光驻波场对热原子束实现纳米量级的聚焦,可以降低原子光刻试验的难度.用蒙特卡罗算法和轨迹模拟法分析原子源对原子聚焦的影响,结果表明靶的有效尺寸对纳米图形线宽的影响远大于原子束的发散角和原子的纵向速度分布.提出几种改进试验的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈献忠	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	17	75	4.0	8.0
2	姚汉民	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	44	355	9.0	16.0
3	陈旭南	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	39	212	9.0	13.0