用于边界层分离点检测的微型压力传感器阵列研究

• 作者: 姜澄宇 朱名铨 邓进军 陈爽 马炳和
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 分离点 表面压力分布 微型压力传感器阵列 柔性衬底 背引线
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 148-150
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2832字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.050

摘要

基于边界层流动与分离的特性,探讨了根据表面压力分布变化,检测物体表面边界层分离点的测量方法.根据边界层分离点测量的特点,给出了一种基于柔性衬底的微型压力传感器阵列的结构设计,并对背引线技术进行了初步研究.设计的微型压力传感器阵列可有效满足边界层分离点的检测要求,进一步拓展了MEMS器件的工程应用范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马炳和		33	167	7.0	11.0
2	姜澄宇		65	883	18.0	28.0
3	朱名铨		58	993	19.0	28.0
4	陈爽		8	18	3.0	4.0
5	邓进军		18	57	4.0	6.0