用AFM压痕技术定量介观硬度的方法研究

• 作者: 丁建宁 朱守星 范真 蔡兰
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 压 痕 硬 度 类金刚石膜
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 272-274,278
• 页数: 4页
• 分类号: TM93
• 字数: 2847字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2005.03.013

摘要

用原子力显微镜(AFM)纳米压痕方法结合扫描力显微镜技术,表征类金刚石(DLC)膜,金块Au,单晶硅Si的纳米硬度.用能量密度理论解释基于AFM压痕技术测定纳米硬度的机理,给出AFM纳米压痕的能量平衡方程.对DLC膜,金块,单晶硅进行纳米压痕试验,表明在同样载荷下,不同材料的压痕深度是不相同的.DLC膜具有较高的抗压性能,Si其次,Au的抗压性能最低.通过曲线拟合技术,定量给出金块的纳米硬度分析模型:H=(2.83/Df)+2.86.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡兰	江苏大学微纳米技术研究中心	124	1736	24.0	35.0
2	丁建宁	江苏大学微纳米技术研究中心	146	769	14.0	19.0
3	朱守星	江苏大学微纳米技术研究中心	8	44	5.0	6.0
5	范真	江苏大学微纳米技术研究中心	61	532	11.0	20.0