超光滑表面粗糙度检测系统的研究

• 作者: 廖小华 李会雨 李庆祥 李玉和 葛杨翔
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 相移干涉 超光滑表面 粗糙度
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: 测试系统
• 页码范围: 1143-1144
• 页数: 2页
• 分类号: TP3
• 字数: 1209字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2005.08.141

摘要

超精加工技术的不断发展,对光滑表面粗糙度检测精度要求越来越高.采用显微相移干涉技术,设计软件算法实现超光滑表面任意横向或纵向截面线粗糙度以及面粗糙度在线检测与三维动态显示,初步实验表明,该系统测量精度达纳米量级,满足超光滑表面粗糙度检测性能要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李庆祥	清华大学精密仪器及机械学系	84	2180	20.0	45.0
2	李玉和	清华大学精密仪器及机械学系	59	1638	16.0	40.0
3	廖小华	清华大学精密仪器及机械学系	7	34	3.0	5.0
4	葛杨翔	清华大学精密仪器及机械学系	7	48	4.0	6.0
5	李会雨	清华大学精密仪器及机械学系	3	16	2.0	3.0