衬底剥离的量子阱红外探测器研究

• 作者: 周均铭 徐文兰 李宁 江俊 甄红楼 陆卫 黄绮
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 衬底剥离 量子阱红外探测器 光电流谱 介电函数
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 161-164
• 页数: 4页
• 分类号: O469|O471.4|O472+.8
• 字数: 859字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2006.03.001

摘要

对用MBE生长的GaAs/AlGaAs量子阱材料进行了衬底剥离,在此基础上制备了单元器件并测量了器件的黑体响应率以及光电流响应.实验解决了衬底剥离及器件制备中的工艺问题,研究了衬底剥离对材料及器件性能的影响以及用这种方法制备器件的可行性.结果表明选择腐蚀法是一种有效的衬底剥离方法,用这种方法得到的多量子阱薄膜材料仍具有较好的红外探测性能,为进一步实验提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宁	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家实验室	304	5119	38.0	59.0
2	黄绮	中国科学院物理研究所	26	106	7.0	9.0
3	陆卫	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家实验室	95	442	12.0	16.0
4	徐文兰	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家实验室	11	92	4.0	9.0
5	江俊	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家实验室	4	3	1.0	1.0
6	甄红楼	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家实验室	10	64	4.0	8.0