基于共振隧穿压阻薄膜的GaAs基微加速度计研究

• 作者: 张文栋 张斌珍 李科杰 王建 薛晨阳
• 来源期刊: 中北大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 砷化镓 共振隧穿压阻薄膜 微加速度计
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 电子与电子信息
• 页码范围: 448-451
• 页数: 4页
• 分类号: TM390.2
• 字数: 1954字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3193.2006.05.018

摘要

主要研究一种应用共振隧穿压阻薄膜的GaAs基4梁式微加速度计,设计出共振隧穿薄膜以及GaAs基微加速度计的结构.利用有限元软件Ansys对加速度计进行了模态仿真.讨论了加速度计的加工工艺,并完成了基于加速度计共振隧穿压阻薄膜的压阻特性研究.首次采用控制孔技术制造了GaAs基微加速度计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李科杰	北京理工大学机电工程学院	109	1207	18.0	30.0
2	张文栋	中北大学电子测试技术国家重点实验室	167	1172	16.0	26.0
3	王建	中北大学电子测试技术国家重点实验室	7	40	4.0	6.0
4	薛晨阳	中北大学电子测试技术国家重点实验室	136	765	14.0	21.0
5	张斌珍	北京理工大学机电工程学院	107	535	12.0	18.0