基体温度对诱增透滤光片特性的影响

• 作者: 林坚 林永钟
• 来源期刊: 福建师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 基体温度 诱增透滤光片 特性
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: TN304|TP212
• 字数: 2657字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5277.2006.01.012

摘要

考察了λ=(620±10)nm栅滤光片的制备过程,分析了工艺参数对滤光片性能的影响.结果表明,除了蒸发速率、银层厚度、监控波长等工艺措施外,合适的基体温度是获得优良性能诱增透滤光片的重要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林永钟	福建师范大学物理与光电信息科技学院	13	97	4.0	9.0
2	林坚	福建师范大学物理与光电信息科技学院	8	65	3.0	8.0