厚膜陶瓷电容式压力传感器设计与制备

• 作者: 李民强 李鹏
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 厚膜 电容式 压力传感器
• 年，卷（期）: 2006,（12）
• 所属期刊栏目: 研究动态
• 页码范围: 12-15
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 3407字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2006.12.002

摘要

结合厚膜技术、陶瓷技术研制了双电容结构的压力传感器,详细阐述了厚膜陶瓷电容式压力传感器的结构设计、工作原理、制备方法、测试结果.试验结果表明:研制的传感器工作稳定,测量精确,非线形误差低于1.0%,迟滞误差小于0.5%,测试电容和参考电容温度系数几乎一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李鹏	中国科学院合肥智能机械研究所	179	1893	22.0	37.0
2	李民强	中国科学院合肥智能机械研究所	26	306	8.0	17.0