溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜

• 作者: 周英 李燕 程珍娟 邓宏
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 ZnO薄膜 c轴择优取向性 禁带宽度
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 电子信息材料与器件
• 页码范围: 823-825,828
• 页数: 4页
• 分类号: O649.4
• 字数: 1811字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2006.05.030

摘要

采用了溶胶-凝胶工艺在普通的玻璃载玻片上成功地制备出具有c轴择优取向性、高的可见光透光率、平整均匀的氧化锌薄膜.通过XRD、AFM以及UV光谱仪等分析,其结果表明:所制备的氧化锌薄膜具有纤锌矿型结构,表面均匀致密,薄膜晶粒尺寸大约在40～90 nm,溶胶浓度增大时,其晶粒大小呈增大的趋势.随着涂膜层数的增加,薄膜的(002)方向的取向度增加.薄膜在可见光区的光透过率＞85%,在近紫外光波段透射率急剧减小,对应的禁带宽度为3.34 eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓宏	电子科技大学微电子与固体电子学院	72	653	14.0	22.0
2	周英	电子科技大学微电子与固体电子学院	1	8	1.0	1.0
3	李燕	电子科技大学微电子与固体电子学院	29	259	9.0	15.0
4	程珍娟	电子科技大学微电子与固体电子学院	2	11	2.0	2.0