压电膜片的优化设计及在微泵中的应用

• 作者: 刘晓为 王蔚 陈伟平 鲍志勇
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械系统微执行器 仿真 压电驱动 膜片 微泵
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 153-155,158
• 页数: 4页
• 分类号: TH703
• 字数: 2614字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2006.02.009

摘要

压电驱动是微机械系统(MEMS)微执行器最有发展前途的驱动方式之一.该文采用ANSYS有限元软件对压电膜片结构参数和在微执行器上的装配方法进行了优化设计,得到PZT/Si,PZT/Cu压电膜片结构的优化数据,将其应用于有阀微泵的研制.经测试,微泵压电驱动效果与仿真结果一致,微泵背压可达836 Pa,流量达1.4 mL/min.