利用体块PZT制备膜片式压电微泵

• 作者: 杉山进 李以贵 王欢 颜平 黄远
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微流控分析系统 膜片式压电微泵 锆钛酸铅(PZT) 单向微阀 逆压电效应 驱动仿真 微加工工艺
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1072-1079
• 页数: 8页
• 分类号: TN384|TP271
• 字数: 2435字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162405.1072

摘要

利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵.通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制.微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成;微驱动器主要为液体流动提供驱动力,单向微阀则用于精确控制液体的流动方向.通过对PZT-Si膜片的位移量、位移形状的仿真分析,确定了微驱动器的设计尺寸,并估算其液体驱动性能.利用共晶键合工艺、研磨减薄工艺、硅深反应离子刻蚀工艺和准分子激光加工工艺等制备出了微驱动器和单向微阀.最后,设计了驱动测试实验,检测了微泵的液体驱动性能.测试结果表明:所制备的膜片式压电微泵驱动的谐振频率约为70 kHz,能驱动微米量级的液体位移或运动.当微泵驱动电压为30 Vp-p、频率为600 Hz时,液体的驱动流速约为65 μL/min.该微泵具有体积小,线性度好等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王欢	上海应用技术大学理学院	18	29	3.0	4.0
2	李以贵	上海应用技术大学理学院	24	34	4.0	4.0
3	黄远	上海应用技术大学理学院	11	19	3.0	3.0
4	颜平	上海应用技术大学理学院	11	19	3.0	3.0