阳极氧化温度对Al-Ti复合氧化膜结构和电性能的影响

• 作者: 冯哲圣 杨邦朝 蒋美莲 陈金菊
• 来源期刊: 中国科学E辑
• 学科: 物理学
• 关键词: 阳极氧化 温度 Al-Ti复合氧化膜 结构 性能
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 251-258
• 页数: 8页
• 分类号: O4
• 字数: 2951字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-9275.2006.03.003

摘要

采用水解沉积-阳极氧化方法制备了高介电常数的Al-Ti复合氧化膜.通过膜溶解试验,膜成分AES深度分析及电性能测试,研究了恒电流阳极氧化过程中,阳极氧化温度对Al-Ti复合氧化膜的生长、结构及电性能的影响.结果表明,随着阳极氧化温度升高,Al-Ti复合氧化膜的形成速率增大,氧化膜的结构由两层转变为三层,I-V特性也发生显著变化,铝电极箔的比容有一最大值.50℃所形成氧化膜的局部击穿最明显,氧化膜的漏电流最小,而耐电压最高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨邦朝	电子科技大学微电子与固体电子学院	253	3422	31.0	49.0
2	陈金菊	电子科技大学微电子与固体电子学院	36	309	11.0	16.0
3	冯哲圣	电子科技大学微电子与固体电子学院	44	541	13.0	22.0
4	蒋美莲	电子科技大学微电子与固体电子学院	2	19	2.0	2.0