超纯水制造系统中关于TOC的去除、检测和控制管理

• 作者: 唐世权
• 来源期刊: 净水技术
• 学科: 工学
• 关键词: TOC 去除 检测 控制管理
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: TU99
• 字数: 2595字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0177.2006.03.005

摘要

就半导体工厂超纯水制造系统中的一个重要污染物TOC进行了比较全面的分析和说明,阐述了超纯水制造系统中TOC的来源、去除方法、检测手段以及控制管理,对半导体工厂的制水管理人员有很好的借鉴作用.