微米量级厚Al-Al薄膜的超声摩擦焊接技术

• 作者: 任大鹏 吕学超 李嵘 赖新春 赵天明
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜集成电路 亚微米级 焊接技术 连接界面 摩擦 超声 惯性约束聚变 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 38-39
• 页数: 2页
• 分类号: TP368.32

摘要

薄膜精密连接的目的是实现同种或异种微米、亚微米级材料间没有不同于母相材料引入的可靠连接，同时要确保连接后组件的表面粗糙度、厚度一致性、连接界面以及尺寸与空间形位关系等满足设计的精密性要求。由于它是诸多功能器件如惯性约束聚变微靶、薄膜集成电路、微机电系统（MEMS）等制造的关键技术之一，所以受到了高精密制造业的普遍重视。传统的连接技术如扩散连接、钎焊、以及黏接等，往往很难满足要求。