热处理对金属薄膜压阻灵敏度的影响

• 作者: 宋远强 杜晓松 杨邦朝 滕林 蒋亚东
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 压阻系数 锰铜 镱 薄膜 微观结构
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1426-1428
• 页数: 3页
• 分类号: O521.3|TB43
• 字数: 2160字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2006.09.023

摘要

采用磁控溅射法制备锰铜薄膜,溅射和真空蒸发法制备镱薄膜.对热处理前后薄膜的电学性能、微观形貌和结构进行了表征,并采用轻气炮和对顶砧装置对薄膜传感器进行了压阻性能测试,结果表明热处理后薄膜的压阻系数有很大提高.SEM和XRD的分析表明,压阻系数的提高是由于热处理后薄膜晶粒长大、缺陷减少、电阻率下降所致.敏感薄膜的电阻率与传感器的灵敏度直接相关.热处理后,薄膜压阻计的灵敏度已接近箔式传感器的水平,热处理是提高薄膜压阻计灵敏度的有效手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜晓松	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	61	434	12.0	16.0
5	杨邦朝	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	253	3422	31.0	49.0
6	滕林	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	16	88	5.0	9.0
7	宋远强	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	7	32	3.0	5.0