一种新型压电式双向无阀微泵的研制

• 作者: 刘晓为 杨松涛 王喜莲 王蔚 田丽 鲍志勇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 双向微泵 压电驱动 性能分析
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微流控器件与技术
• 页码范围: 2018-2021
• 页数: 4页
• 分类号: TH3
• 字数: 1944字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.186

摘要

采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式双向无阀微泵,泵的外形尺寸为30×14×3 mm3,泵腔体体积约10 mm3.通过大量试验测试,得到了泵压、流量与工作频率、波形、电压幅值之间的关系.当工作电压为110 V、频率为40 Hz时,微泵的正向最大泵压为120 mm水柱,频率为50-90 Hz时,最大流量70μl/min;当频率为35 Hz时,微泵的反向最大泵压为70 mm水柱,最大流量56μl/min.