微粒定位技术研究

• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 微粒 定位 扫描电镜 二次离子质谱仪
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 453-459
• 页数: 7页
• 分类号: TG115
• 语种: 中文

摘要

在直径25 mm的石墨垫上镀膜或粘贴制作微定位标记,进行SEM-SEM、SIMS-SIMS、SEM-SIMS之间的微粒定位.SEM-SEM之间的微粒定位偏差约为10 μm,而SEM-SIMS和SIMS-SIMS之间的微粒定位精度偏差约为15 μm.实验表明:粘贴制作微定位标记和矩阵定位算法的组合是一种简便、适应性强、成本低和有效的微粒定位和再定位方法.