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中国制版光刻与微/纳米加工技术的发展历程回顾与现状
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摘要：
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相关学者/机构
期刊影响力
微细加工技术
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
开本：
大16开
出版地：
湖南省长沙市
邮发代号：
创刊时间：
1983
语种：
chi
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
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