基于SOC的有机膜REFETs研究

• 作者: 任振兴 夏善红 杨海钢 汪祖民 韩泾鸿
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 片上系统 参比场效应管 钝化膜 聚四氟乙烯
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 208-211
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 3144字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2006.03.007

摘要

由于传统参比电极的大尺寸及液接盐桥的存在,限制了ISFET向着小型化、集成化方向发展.研制了一种采用0.35μm标准CMOS工艺制造的,集ISFET/REFET及其信号检测、处理电路于一体的生化SOC(system on chip).REFET是该生化SOC采用差分测试方法省略参比电极的关键.介绍了几种有机物材料作为钝化膜的REFET.分析比较了各种制备REFET钝化膜的工艺特点及膜的功能特点.实验结果表明,以PTFE为钝化膜的REFET对pH的响应可达到0.39 mV/pH,这表明PTFE膜是一种较为理想的pH钝化材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩泾鸿	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	29	197	7.0	12.0
2	夏善红	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	111	654	14.0	18.0
3	杨海钢	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	134	485	10.0	15.0
4	汪祖民	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	3	13	3.0	3.0
8	任振兴	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	5	14	3.0	3.0