基于功能结构的MEMS弹簧设计方法

• 作者: 石庚辰 郑利兵
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 弹簧 功能结构 刚度系数
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 128-131
• 页数: 4页
• 分类号: TH13
• 字数: 2457字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2006.02.010

摘要

平面微型弹簧是微机械电子系统(MEMS)中一种常用的弹性元件,其结构形状的不同将显著影响其刚度系数.针对在限定空间MEMS弹簧设计这一问题,提出了对弹簧进行结构分解和替换的设计方法.基于力学中的能量法得出了其功能结构形状与刚度系数的关系;理论分析结果表明,功能结构的替换可以实现在限定空间内弹簧刚度系数的改变.用有限元分析软件进行了仿真,其结果和理论分析吻合,验证了这一设计方法的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石庚辰	北京理工大学机电工程学院	54	627	15.0	23.0
2	郑利兵	北京理工大学机电工程学院	2	12	2.0	2.0