MEMS用平面弹簧结构形状与刚度关系的研究

• 作者: 石庚辰 郑利兵
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微机电系统 平面微型弹簧 结构形状 刚度系数
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 162-165
• 页数: 4页
• 分类号: TP271.4|TH135.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2008.01.033

摘要

平面微型弹簧是微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)中一种常用的弹性元件.在平面微型弹簧的设计与应用中,弹簧的刚度系数是其一个非常重要的参数.弹簧的刚度系数是由弹簧的形状、结构、尺寸和弹簧的材料确定的.利用材料力学的能量法,研究平面微型弹簧基本结构、形状和其刚度系数的关系,为设计平面微型弹簧提供理论指导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石庚辰	北京理工大学机电工程学院	54	627	15.0	23.0
2	郑利兵	北京理工大学机电工程学院	2	12	2.0	2.0