数字掩模技术

• 作者: 陈劲松
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 数字微镜 数字掩模 衍射光学元件 空间光调制器
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 页码范围: 700-703
• 页数: 4页
• 分类号: TN15|TN305.7
• 字数: 2291字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2006.06.021

摘要

数字掩模技术的核心器件是数字微镜芯片,它具有较高的分辨率和灰度等级等优点.利用计算机辅助设计绘制的掩模图形经IO口输入到数字微镜芯片中的SRAM,从而控制无数多个微小镜片的翻转,实现掩模图形的数字化输出.结合高倍精缩投影系统,可快速实现图形转印.为进一步说明该技术的可行性,进行了实验验证.由于实验条件的限制,文中仅实现了2.2 μm最小线宽的制作.利用该技术成功制作了5×5达曼光栅、8台阶闪耀光栅和菲涅尔透镜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈劲松	安徽财经大学信息工程学院	29	80	6.0	8.0