静电探针法对等离子体参数的测定

• 作者: 刘业楠 童靖宇 贾瑞金
• 来源期刊: 航天器环境工程
• 学科: 航空航天
• 关键词: 静电探针 ECR等离子体源
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 试验技术与设备
• 页码范围: 302-305
• 页数: 4页
• 分类号: V416.5|V520.2
• 字数: 2110字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1379.2006.05.013

摘要

静电探针(又称朗谬尔探针)是最早被用于等离子体的诊断工具,它是在等离子体密度和温度比较低的情况下测定等离子体参数的基本方法.文章利用等离子体环境地面模拟设备,采用静电探针的方法,对等离子参数进行测定.并给出了模拟环境的测量结果,分析运行气压及微波功率对等离子体密度的影响.最后通过均匀性及稳定性测试,证明该等离子体地面模拟设备可以满足比较均匀的等离子体环境.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	童靖宇		57	537	15.0	19.0
2	贾瑞金		16	65	4.0	8.0
3	刘业楠		25	92	5.0	8.0