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改进的挥硅-ICP-MS法测定高纯四氯化硅中金属杂质
改进的挥硅-ICP-MS法测定高纯四氯化硅中金属杂质
作者:
何锦林
宋光林
曾广铭
谢锋
谭红
郭峰
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
高纯四氯化硅
ICP-MS
金属杂质
摘要:
本文对钛厂回收副产物高纯四氯化硅中的9种金属杂质进行了测定.采用密封针管取样,转移塑料挥气瓶中,恒温水浴锅控制温度(57℃)通入干燥惰性气体(N2),在塑料挥气瓶挥去基体四氯化硅,富集的金属加入硝酸转变成溶液后定容,用电感耦合等离子质谱法(ICP-MS)直接测定其中Pb、Zn、Mn等9种微量金属杂质.用Rh做内标元素补偿基体效应和灵敏度漂移.样品的加标回收率为98.15~102.0%,相对标准偏差(RSD)为0.9%~3.5%,检出限为0.009~0.05μg/L.
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文献信息
篇名
改进的挥硅-ICP-MS法测定高纯四氯化硅中金属杂质
来源期刊
福建分析测试
学科
化学
关键词
高纯四氯化硅
ICP-MS
金属杂质
年,卷(期)
2006,(4)
所属期刊栏目
研究报告
研究方向
页码范围
7-9
页数
3页
分类号
O657.3
字数
1802字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1009-8143.2006.04.003
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
谭红
70
810
15.0
26.0
2
何锦林
45
617
12.0
23.0
3
郭峰
35
335
9.0
18.0
5
谢锋
28
206
8.0
13.0
6
宋光林
15
52
5.0
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曾广铭
5
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高纯四氯化硅
ICP-MS
金属杂质
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
福建分析测试
主办单位:
福建省测试技术研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1009-8143
CN:
35-1246/T
开本:
大16开
出版地:
福州市北环中路61号
邮发代号:
创刊时间:
1992
语种:
chi
出版文献量(篇)
1788
总下载数(次)
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