基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
研究开发了一种能实现大量程位移和纳米级定位精度的一维位移工作台.工作台采用粗、精两级定位机构,以精密衍射光栅传感器组成工作台位移的闭环检测系统.工作台可以实现o~6 mm的位移及1 nm的定位分辨力.文中建立了由压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的精定位机构的机电耦合模型,进行了精定位机构的模态分析和静力学分析,并采用ANSYS软件进行了有限元仿真运算.最后给出了工作台在表面三维微观形貌测量仪中的应用结果.
推荐文章
一种数控滚齿机工作台动态特性建模方法及实验分析
数控滚齿机
动态特性
伺服模型
永磁交流伺服电机
基于双向平面四杆机构的二维微动工作台的设计与有限元分析
微动工作台
柔性铰链
压电陶瓷
有限元分析
一种小型插齿机轴承工作台的设计
插齿机
轴承
工作台
创新性
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 新型一维位移工作台的设计及特性分析
来源期刊 光学 精密工程 学科 工学
关键词 微定位工作台 柔性铰链 PZT驱动器 有限元分析 模态分析
年,卷(期) 2006,(3) 所属期刊栏目 微纳技术与精密机械
研究方向 页码范围 428-433
页数 6页 分类号 TH703.6
字数 3585字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.03.017
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 谢铁邦 华中科技大学机械科学与工程学院 92 848 17.0 24.0
2 戴蓉 华中科技大学机械科学与工程学院 11 95 5.0 9.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (3)
共引文献  (69)
参考文献  (5)
节点文献
引证文献  (27)
同被引文献  (47)
二级引证文献  (174)
1996(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1997(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2000(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2001(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
2002(2)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(0)
2004(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2006(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
2007(7)
  • 引证文献(5)
  • 二级引证文献(2)
2008(8)
  • 引证文献(4)
  • 二级引证文献(4)
2009(12)
  • 引证文献(3)
  • 二级引证文献(9)
2010(18)
  • 引证文献(5)
  • 二级引证文献(13)
2011(16)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(14)
2012(14)
  • 引证文献(4)
  • 二级引证文献(10)
2013(16)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(15)
2014(20)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(19)
2015(23)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(22)
2016(21)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(20)
2017(8)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(8)
2018(26)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(26)
2019(10)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(10)
2020(2)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(2)
研究主题发展历程
节点文献
微定位工作台
柔性铰链
PZT驱动器
有限元分析
模态分析
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
月刊
1004-924X
22-1198/TH
大16开
长春市东南湖大路3888号
12-166
1959
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导