压电驱动微位移工作台动态特性分析

• 作者: 于振雷 吴一辉 王立鼎 贾宏光
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷 微位移工作台 动态特性分析
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 440-443
• 页数: 4页
• 分类号: TM384
• 字数: 2236字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2000.05.008

摘要

压电驱动微位移工作台的动态特性分析对其设计及实际应用都有很大的指导作用.本文在线性化的前提下,通过对这种微位移工作台各个组成部分的相应简化,分析了在频响低于共振频率时微位移工作台的动态特性,得出了其传递函数.另外,本文还对影响工作台设计的两个重要边界条件-初始预紧力和工作台所能达到的最大频响进行了比较详细的推导,给出了其所应满足的量化指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾宏光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	120	1499	18.0	33.0
2	吴一辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	126	1121	18.0	27.0
3	王立鼎	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	58	3.0	5.0
4	于振雷	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	43	1.0	1.0