三自由度微定位工作台的设计与特性分析

• 作者: 张大卫 田延岭 闫兵
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微定位工作台 压电陶瓷驱动器 弹性铰链
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 数控加工技术
• 页码范围: 30-32
• 页数: 3页
• 分类号: TH123
• 字数: 1312字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2004.12.011

摘要

设计一种用于平面磨削主动控制的新型数控微定位工作台.该工作台采用三个安装在底座上的压电陶瓷(PZT)驱动器驱动动平台,三个圆形凹槽弹性铰链构成的弹性环节实现对压电陶瓷驱动器的预紧.为了提高定位精度采用三个高精度的电容式位移传感器用来测量动平台的输出,从而形成闭环控制系统.采用有限元分析软件ANSYS对微定位工作台的静、动态特性进行了数值分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大卫	天津大学机械工程学院	146	2041	26.0	38.0
2	田延岭	天津大学机械工程学院	32	324	10.0	16.0
3	闫兵		6	38	4.0	6.0