同步辐射白光形貌术观察SiC单晶中的微小多型结构

• 作者: 姜守振 徐现刚 朱佩平 李娟 李现祥 王丽 王继扬 田玉莲 胡小波 董捷 蒋民华 陈秀芳 黄万霞
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 多型夹杂 同步辐射白光形貌术 SiC单晶
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 591-593
• 页数: 3页
• 分类号: O722
• 字数: 1349字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2006.04.025

摘要

采用同步辐射白光形貌术观察了6H和4H-SiC单晶片中的微小多型结构.基于透射同步辐射形貌术的衍射几何和晶片的取向,计算了SiC晶体中3种主要多型在Lane像中对应不同反射的成像位置,并与实际结果进行了比较.鉴别出6H和4H-SiC单晶中分别存在着少量的4H-SiC和15R-SiC多型的寄生生长.