纳米级微动工作台的研究现状及发展趋势

• 作者: 冯平 张丽琼 杨元兆 王俊茹 陈本永 雷勇
• 来源期刊: 浙江理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米科技 磁悬浮 微动工作台 高精度 大范围
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 机电与信息科技
• 页码范围: 72-75,82
• 页数: 5页
• 分类号: TH133.3
• 字数: 3046字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3851.2006.01.019

摘要

纳米级微动工作台是纳米科学技术研究的关键仪器设备,本文对纳米级微动工作台的研究现状进行了综述,对现有的纳米级微动工作台的工作原理、性能特点和可实现的运动范围及精度进行了分析比较,在此基础上,对纳米级微动工作台的发展趋势做了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨元兆	浙江理工大学纳米测量技术实验室	14	112	6.0	10.0
2	张丽琼	浙江理工大学纳米测量技术实验室	12	56	3.0	7.0
3	陈本永	浙江理工大学纳米测量技术实验室	63	361	11.0	17.0
4	王俊茹	浙江理工大学纳米测量技术实验室	10	52	3.0	7.0
5	雷勇	浙江理工大学纳米测量技术实验室	3	46	2.0	3.0
6	冯平	浙江理工大学纳米测量技术实验室	3	46	2.0	3.0