悬臂梁阀单腔压电泵设计方法研究

• 作者: 张玮 李欣欣 赵明丽 黄琴
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电泵 悬臂梁阀 压电陶瓷 压电振子
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 607-611
• 页数: 5页
• 分类号: TN384|TH38
• 字数: 2502字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.04.015

摘要

给出了悬臂梁阀单腔压电泵的理论分析,根据压电振子与流体耦合的理论,建立了压电泵系统的动态模型.分析了流体质量、输出压力和系统阻尼对压电泵最佳工作频率的影响,认为减小腔体高度可以提高压电泵的最佳工作频率,提高压电泵的稳定性.通过分析压电振子结构参数对变形量的影响规律,确定了振子的最佳结构参数,认为压电陶瓷层与金属基板厚度比取0.45～0.55,直径比取0.8～0.9最佳.研究了压电泵出流形式对压电泵输出能力的影响,认为轴後向出流有利于提高压电泵的输出能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李欣欣		116	798	14.0	24.0
2	张玮		15	103	6.0	10.0
3	赵明丽		7	14	2.0	3.0
4	黄琴		3	18	2.0	3.0