IntelliSuite(R) EMagAnalysis:一种真实形变结构的S参数提取工具

• 作者: 周磊 张善亮 徐帆 徐波
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: RF MEMS 数值计算 S参数
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: RF微纳器件与技术
• 页码范围: 1892-1895,1899
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2877字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.155

摘要

将IntelliSuite(R) EMagAnalysis电磁分析模块与IntelliSuite(R) TEMAnalysis热机电耦合分析模块结合起来,利用两模块之间数据结构的兼容性,提取真实形变结构的S参数的方法.并用这种方法分析了RF开关的一种经典结构,取得了不错的效果,同时填补了国际上相关领域的空白.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张善亮		3	8	1.0	2.0
2	徐波		7	15	2.0	3.0
3	徐帆		5	2	1.0	1.0
4	周磊		2	0	0.0	0.0