一种微质量传感器的结构设计与优化

• 作者: 周志良 张培仁 张翼 王琪民 蒋海峰 金恒华
• 来源期刊: 机电一体化
• 学科: 工学
• 关键词: 微质量传感器 QCM 结构设计 有限元分析
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 研究·开发·应用
• 页码范围: 18-22
• 页数: 5页
• 分类号: TP2
• 字数: 3060字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-080X.2006.05.003

摘要

文章介绍了一种新型的微质量传感器,通过测量QCM的谐振频率变化得出在QCM传感器表面吸附的微质量变化.文章还详细介绍了QCM传感器的设计和夹具的结构设计,并用ANSYS 9.0对QCM传感器进行了三维有限元建模,分析了电极尺寸对有限元谐振元振动特性的影响,提出了优化设计的方案,最后进行了实验.实验结果与理论值基本相同,从而证明了结构设计的合理性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张培仁	中国科学技术大学自动化系	86	1264	18.0	32.0
2	张翼	中国科学技术大学工程科学院	36	450	11.0	20.0
3	周志良	中国科学技术大学工程科学院	9	62	4.0	7.0
4	王琪民	中国科学技术大学工程科学院	10	88	6.0	9.0
5	蒋海峰	中国科学技术大学自动化系	5	43	5.0	5.0
6	金恒华	中国科学技术大学工程科学院	1	8	1.0	1.0