基于压电陶瓷驱动器(PZT)驱动的二维微动工作台系统及控制方法的研究

• 作者: 孙宝元 张建雄 王红艳
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: PZT 微动工作台 柔性铰链 前馈 模糊控制
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 制造技术与装备
• 页码范围: 11-12,49
• 页数: 3页
• 分类号: TP242
• 字数: 1343字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2006.07.004

摘要

介绍了基于PZT驱动的二维微动工作台,该微动台采用双柔性平行四连杆结构.用ANSYS对其进行有限元分析,使用自制的电容位移传感器进行位移检测,采用前馈与模糊控制相结合的复合控制方法对系统进行控制,结果表明:该控制方法既具有开环控制的稳定性,又具有闭环控制高精度的特点.实验证明了该方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙宝元	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	138	1967	23.0	36.0
2	王红艳	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	3	25	3.0	3.0
3	张建雄	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	4	57	4.0	4.0